天準科技：公司參股的蘇州矽行半導體有限公司，正在開發(fā)有圖形晶圓缺陷檢測設備
2023-05-10 20:54:43 來源：同花順iNews
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同花順（300033）金融研究中心5月10日訊，有投資者向天準科技提問， 請問公司的自行研發(fā)的面向半導體前道微觀缺陷檢測裝備是納米圖形晶圓缺陷檢測設備還是屬于有圖形晶圓缺陷檢測設備？
公司回答表示，您好，感謝對公司的關注。公司參股的蘇州矽行半導體有限公司，正在開發(fā)有圖形晶圓缺陷檢測設備，目前已經(jīng)形成原型樣機，進入內(nèi)部測試階段。
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